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TAA_0027 pdf  4.61 MB  10

基本情報

タイトル Investigation on high performance surface acoustic wave devices using ScAlN thin films
タイトルの別表記 ScAlN薄膜を用いた高性能弾性表面波素子に関する研究
作成者 TANG, Gongbin
作成者の別表記 唐, 供賓
内容 研究科: 千葉大学大学院工学研究科(人工システム科学)
学位記番号: 博士(学術)
ハンドルURL http://opac.ll.chiba-u.jp/da/curator/103643/
フルテキストへのリンク http://opac.ll.chiba-u.jp/da/curator/103643/TAA_0027.pdf
NII資源タイプ 学位論文
刊行年月 2017-03-24
著者版フラグ ETD