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Ueda_Masanori pdf 2.83 MB 15,068

基本情報

データ種別：学術成果リポジトリ

タイトル
AlN圧電薄膜を使用した高性能バルク弾性波デバイスに関する研究
タイトルの別表記
Study on high performance Bulk acoustic devices employing AIN piezoelectric thin film
作成者
上田, 政則
作成者の別表記
Masanori Ueda
キーワード等
BAW
FBAR
SAW
duplexer
fiter
デュープレクサ
フィルタ
内容
研究科: 千葉大学大学院工学研究科
ハンドルURL
https://opac.ll.chiba-u.jp/da/curator/900051845/
フルテキストへのリンク
https://opac.ll.chiba-u.jp/da/curator/900051845/Ueda_Masanori.pdf
公開者
千葉大学
公開者の別表記
Chiba University
NII資源タイプ
学位論文
著者版フラグ
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