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千葉大学学術成果リポジトリ
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このアイテムのアクセス数:
14
件
(
2024-05-18
22:37 集計
)
閲覧可能ファイル
ファイル
フォーマット
サイズ
ダウンロード回数
説明
KJ00004299162
pdf
1.45 MB
27
基本情報
データ種別:学術成果リポジトリ
タイトル
Etching Examination for the Scratched Wafer of Silicon Single Crystal
タイトルの別表記
引っかき傷づけしたシリコン単結晶板の腐食法による研究
作成者
砂田, 淳二
作成者の別表記
Sunada, Junji
内容
Etching examination is made for the scratched wafer of silicon single crystal with Dash etchant. With the scratch without microcrack (load of 100 g), rapid eching is observed in the surface layer of the scratch, of the order of 0.3 μm in thickness, and this suggests that some defects are induced in the layer. With the scratches accompanied with microcracks (200 g and 300 g loads), the remarkable distortion in the surrounding of the scratch is re-moved by light etching and especially deep etching is observed in the microcrack. This give a evidence for the poor heading of the microcrack. Etch pits are observed in the etched furrow in front of the microcrack but it is difficult to relate the pit with dislocation. The elastic character of the distortion is due to the poor healing of microcracks.
ハンドルURL
https://opac.ll.chiba-u.jp/da/curator/900024952/
フルテキストへのリンク
https://opac.ll.chiba-u.jp/da/curator/900024952/KJ00004299162.pdf
公開者
千葉大学教育学部
NII資源タイプ
紀要論文
ISSN
0577-6856
NCID
AN00179534
掲載誌名
千葉大学教育学部研究紀要. 第2部
巻
26
開始ページ
1
終了ページ
6
刊行年月
1977-12-20
著者版フラグ
publisher
カテゴリ
教育学部研究紀要
その他の情報を表示
作成者 (ヨミ)
スナダ, ジュンジ
日本十進分類法 (NDC)
370
コンテンツの種類
紀要論文 Departmental Bulletin Paper
DCMI資源タイプ
text
ファイル形式 [IMT]
application/pdf
情報源
Bulletin of the Faculty of Education, Chiba University. Part II
言語 [ISO639-2]
eng
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